RT Journal Article SR Electronic(1) A1 B. Покасов, B. A1 В. Поллер, Б. A1 И. Коняев, С.YR 2007 T1 О построении лазерного интерференционного измерителя медленных перемещений для нанотехнологий JF , VO OP SP cp-59-00297 DO https://doi.org/10.3997/2214-4609.201403499 PB European Association of Geoscientists & Engineers, SN 2214-4609, AB , UL https://www.earthdoc.org/content/papers/10.3997/2214-4609.201403499